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暫時性貼合雷射剝離系統
Laser Debonding System for Temporary Bonding

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特點

  1. IBM高端暫時性貼合後，DPSS雷射剝離專利/技術移轉

  2. 低功率特選雷射波長，避免傷害晶圓。 (Avoid the Thermal Impact, Laser Damage)

  3. 可適用相對翹曲較大的基板(Substrate)元件

  4. 雷射配合特殊的耐化及耐溫剝離塗層，(release layer)可以搭配各種貼合劑 (adhesive layer)。

  5. 高性能雷射，低維修成本

  6. 載片(carrier)選擇多樣化

  7. 自動化移載/分離/置片

  8. 最適化清潔模組提供

  9. 可選配自動化光學定位系統，符合不同區域化掃描需求。

  10. 提供SECS/GEM完整整合方案

應用

  • 2.5D/3D IC TSV

  • 400 G Optical Transceiver

  • CoWoS

  • Wafer & Panel Fan Out級封裝

  • AP/Memory PoP

  • 功率器件 (Power device)

  • 5G application

  • RF Module

  • 晶圓減薄

  • Blue LED

  • Red LED

  • Micro LED

  • Mini LED

  • CIS BSI

  • 三五族半導體

  • 垂直型LED

  • 薄玻璃移載

  • TGV

規格

可適用於2”/4”/ 6”/8”/12”圓形工件

詳細規格，請來電洽詢

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