香港浸會大學物理系的蔡林峰、朱芙蓉博士，於Nano select期刊上，(發布日期:04 February 2021) 發表了主題為:Toward efficient and stable operation of perovskite solar cells: Impact of sputtered metal oxide interlayers文章中，針對鈣鈦礦電池所用到的金屬氧化層成膜方法，做了詳細的分析關於TiO2的製備，摘錄如下:通過在Ar / O 2混合氣氛中對Ti靶進行反應性DC濺鍍來實現這一目標的。使用以此方式製備的無定形TiO 2膜，基於玻璃基板的器件表現出16.08％的性能，優於採用退火結晶TiO 2的太陽能電池。無定形膜的光滑表面有利於與相鄰的鈣鈦礦層更緊密的接觸。濺射引起的中性氧空位在VBM的正上方引入了填充的雜質態，從而導致更深的費米能級。易化電荷抽取，作為結果，導致了更高的Jsc和Voc。鈣鈦礦太陽能電池製作，取代不穩定的膜製程。

 

         勤友光電，對於以反應式濺鍍設備，製作TiO2膜，也同樣發現，以DC power或AC Bipolar的方式，使用Ti靶，通入Ar和O2製程氣體，進行反應性濺鍍成TiO2薄膜，並可藉由控制O2於系統中的分壓與分佈，提升整體膜厚的均勻性，增進穿透率，控制薄膜型態，不僅功率調控幅度大，有更佳寬裕的製程參數調整範圍，相較以TiO2靶，需要RF power電源濺鍍，則侷限於特定的氣體比例和電壓區間，製程參數限制狹隘。

 

         勤友光電做為台灣第一的反應式濺鍍(Reactive sputtering)設備商，我們持續在綠能、顯示器、觸控、車載以及半導體封裝等領域，不斷開發新製程，挑戰極限，不論是實驗機、批次式濺鍍設備(Batch sputter)、卷對卷濺鍍設備(R2R Sputter)或是連續式濺鍍設備(Inline Sputter)，都能符合客戶需求，降低COO(cost of ownership)，維持高品質穩定生產。

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